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LAUDA-Noah POU热电工艺过程恒温器是用在半导体行业，提供从-20到90C的温度控制
满足苛刻的工艺过程快速和精确的温度控制
热电在线使用(POU)温度控制系统为等离子刻蚀工艺提供稳定的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。LAUDA-Noah POU热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖元件的温度变化原理。这些原件可以实现快速且准确的温度控制，满足了当今生产尺寸越来越小器件的要求。
重要功能
低能耗没有压缩机和制冷剂的系统
工业领域占地小，如果放置到地板下方则没有占地空间要求
极低的导热液体填充量
标配附件
带有手动泵的加液罐
选配附件
可以远程控制的通信模块(RS-485通信协议)
LAUDA-Noah POU在线使用(POU)温度控制系统与压缩机系统相比可以节省最高到90%的能量。可选择安装在地板下面选项使系统的占地很小，节省了洁净室的空间。
